Práce na projektu budou vedeny ve dvou navzájem provázaných liniích:
(i)Aplikovaný výzkum progresivních polovodičových materiálů a struktur a experimentální vývoj technologií jejich výroby se zaměřením na pokročilou technologii výroby Silicon-On-Insulator (SOI) a na bonding křemíkových desek pro SOI.
(2) Aplikovaný výzkum a vývoj nových metod charakterizace objemových i povrchových vlastností polovodičových materiálů a struktur, zejména použití infračervených kamer pro měření kvality bondingu, komplexní metrologie struktury SOI, měření doby života minoritních nositelů náboje.

Publications