Informace o projektu
Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu
- Kód projektu
- GA19-15240S
- Období řešení
- 1/2019 - 6/2022
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- RNDr. Jiří Buršík, DSc.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Štěpánka Kelarová, Ph.D.
- Mgr. Tomáš Medek
- Mgr. Roman Přibyl
- Bc. Igor Sabol
- Petr Saul
- Mgr. Petr Skopal
- doc. Mgr. Pavel Slavíček, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- RNDr. Monika Stupavská, PhD.
- Mgr. Richard Václavik
- Mgr. Jiří Vohánka, Ph.D.
- Mgr. Lukáš Zábranský, Ph.D.
- Spolupracující organizace
-
Český metrologický institut
- Odpovědná osoba Anna Charvátová Campbell
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout multifunkční nanostrukturované polymeru-podobné vrstvy s využitím práškového plazmatu v nízkotlakých vysokofrekvenčních výbojích. Předmětem studia bude nalezení optimálních depozičních podmínek pro růst vrstev. Je plánovaná komplexní diagnostika práškového plazmatu umožňující popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (XPS, SIMS, RBS, ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro - a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie. Metoda mapování mechanických vlastností pomocí AFM bude použita pro studium zabudovávání prachových částic do amorfní polymerní matrice.
Publikace
Počet publikací: 28
2023
-
Influence of the argon ratio on the structure and properties of thin films prepared using PECVD in TMSAc/Ar mixtures
Vacuum, rok: 2023, ročník: 207, vydání: January, DOI
2022
-
Connection between fluorescence lifetime and saturation of the fluorescence process
Rok: 2022
-
Electric signals measured during plasma thin-film etching and their connection to the electron concentration and the properties of the treated surface
Plasma Sources Science and Technology, rok: 2022, ročník: 31, vydání: 3, DOI
-
Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma
Rok: 2022, druh: Vyžádané přednášky
-
Langmuir probe without RF compensation
Plasma Sources Science and Technology, rok: 2022, ročník: 31, vydání: 8, DOI
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries
Optics Express, rok: 2022, ročník: 30, vydání: 2, DOI
-
Surface morphology of nanostructured plasma-polymer thin films deposited under dusty plasma conditions
6th International Conference on Competitive Materials and Technology Processes, IC-CMTP 2021 and 2nd European Conference on Silicon and Silica Based Materials, EC-SILICONF 2021, rok: 2022
-
The wide range optical spectrum characterization of the silicon and oxygen doped diamond like carbon inhomogeneous thin films
Diamond and Related Materials, rok: 2022, ročník: 128, vydání: October 2022, DOI
2021
-
AFM characterization of nanocomposite SAMPLES
NANOCON 2020: 12th International Conference on Nanomaterials - Research & Application, rok: 2021
-
Comparison of HMDSO and HMDSZ thin films growth under dusty plasma conditions
12th International Conference on Nanomaterials - Research and Application, NANOCON 2020, rok: 2021