Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma

• Název česky: Vyšší harmonické frekvence výbojového napětí a proudu v kapacitně vázaném plazmatu
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; ŽEMLIČKA Radek; PŘIBYL Roman; TKÁČIK Maroš; PÁLENIK Juraj; VAŠINA Petr; SKOPAL Petr; NAVRÁTIL Zdeněk; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2022
• Druh: Vyžádané přednášky
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Zvaná přednáška shrnula několik let výzkumu vyšších harmonických frekvencí, které jsou spontánně generované v kapacitně vázaném plazmatu díky nelinearitě elektrických vlastností plazmatu. Přednáška shrnula vznik vyšších harmonických frekvencí, způsob jejich měření a problematiku Langmuirovy sondy bez vf. kompenzace, výpočet vyšších harmonických měření a jejich chování v řadě případů a na závěr důvod reakce vyšších harmonik na vznik nebo odleptání tenké vrstvy v plazmatických procesech.

Související projekty

• Multifunkční nanokompozitní polymerní tenké vrstvy s řízenými povrchovými a mechanickými vlastnostmi připravené v RF prachovém plazmatu