![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Finite Element Method Simulations of Hydrogen Plasma in a Linear Antenna Microwave Plasma Source for Deposition of NCD Films
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2012 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | finite element method, simulation, plasma, NCD, microwave plasma, hydrogen plasma |
Související projekty: |