Modelling of Reactive Magnetron Sputtering with Focus on Changes in Target Utilization
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2012 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Chemické listy |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | SCHMIDTOVÁ, Tereza a Petr VAŠINA. Modelling of Reactive Magnetron Sputtering with Focus on Changes in Target Utilization. Chemické listy. 2012, roč. 106, S, s. s1482-s1487, 6 s. ISSN 0009-2770. |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | reactive magnetron sputtering; modelling; target utilization |
Popis | The paper deals with modelling of reactive magnetron sputtering of titanium with focus on changes in target utilization. |
Související projekty: |