Informace o publikaci
Effect of Hydrogen on the Properties of Amorphous Carbon Nitride Films
| Název česky | Efekt hydrogenace na vlastnosti amorfních carbon-nitridových vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2012 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | MANUFACTURING SCIENCE AND TECHNOLOGY, PTS 1-8 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Doi | http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.383-390.3298 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | hydrogenated a-CNx films; residual stress; r.f. magnetron sputtering; SLEEM; XPS; TDMS; AFM |
| Popis | Efekt hydrogenace na vlastnosti amorfních carbon-nitridových vrstev byl studován ve vzorcích připravených magnetronovým naprašováním na Si podložkách. |