Informace o publikaci
Influence of deposition conditions on electrical and mechanical properties of Sm2O3 doped CeO2 thin films prepared by EB-PVD (+IBAD) methods part 2. Indentation hardness and effective elastic modulus
| Název česky | Vliv depozičních podmínek na elektrické a mechanické vlastností tenkých CeO2 vrstev dopovaných s Sm2O3 připravených metodami EB-PVD (+IBAD) 2. část Indentační tvrdost a efektivní elastický modul |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2013 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Russian Journal of Electrochemistry |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Doi | http://dx.doi.org/10.1134/S1023193513070033 |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | mechanical properties; hardness; elastic modulus; nanoindentation; thin films; CeO2; Sm2O3; doping |
| Popis | Práce byla zaměřená na studium polykrystalických tenkých vrstev CeO2 + xSm2O3 (x = 0, 10.9–15.9 mol %) deponovaných metodou EBPVD a IBAD technikami na křemíkové substráty. Soustředí se hlavně na stanovení vlivu depozičních podmínek, jako jsou složení x, depoziční teplota Tdep a iontový bombard Ar+ , na (mikro)tvrdost (micro), Hpl a elastický modul,Y s ohledem na struktura a složení vrstev. Tyto mechanické charakteristiky byly studovány metodou instrumentované vtiskové zkoušky. Hodnoty tvrdostí byly srovnávány s hodnotami obdrženými na základě klasické Vickersovy zkoušky. |