Evolution of sputtered species densities in HiPIMS process with acetylene gas

• Autoři: BERNÁTOVÁ Katarína; FEKETE Matej; KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2017
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: We report the effect of increasing the mass flow rate of the acetylene gas on the sputtered Ti atom and ion ground state number densities using the spectroscopic method based on effective branching fractions in HiPIMS and DCMS process.

Související projekty

• Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace