![Jak na přijímačky](https://cdn.muni.cz/media/3633702/image_1.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Enhanced permeability dielectric thin films with tailored properties deposited by magnetron sputtering on silicon
Název česky | Dielektrické tenké vrstvy se zvýšenou permeabilitou a s přizpůsobenými vlastnostmi nanášené magnetronovým naprašováním na křemíku |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2019 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | AIP Advances |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
www | Full Text |
Doi | http://dx.doi.org/10.1063/1.5079477 |
Klíčová slova | Magnetic hysteresis; Metal oxides; X-ray diffraction; Magnetron sputtering; X-ray reflectivity; X-ray fluorescence |
Popis | Studovali jsme strukturní a magnetické vlastnosti dielektrik s rozšířenou permeabilitou (EPD) FeCo / Al2O3 - vícevrstvé tenké vrstvy nanesené na destičkách 8 "-Si v průmyslovém magnetronovém naprašovacím systému. |
Související projekty: |