Enhanced permeability dielectric thin films with tailored properties deposited by magnetron sputtering on silicon

• Název česky: Dielektrické tenké vrstvy se zvýšenou permeabilitou a s přizpůsobenými vlastnostmi nanášené magnetronovým naprašováním na křemíku
• Autoři: FALUB Claudiu V.; PIETAMBARAM Srinivas V.; YILDIRIM Oguz; MEDUŇA Mojmír; CAHA Ondřej; HIDA Rachid; ZHAO Xue; AMBROSINI Jan; ROHRMANN Hartmut; HUG Hans J.
• Rok publikování: 2019
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: AIP Advances
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: Full Text
• Doi: http://dx.doi.org/10.1063/1.5079477
• Klíčová slova: Magnetic hysteresis; Metal oxides; X-ray diffraction; Magnetron sputtering; X-ray reflectivity; X-ray fluorescence
• Popis: Studovali jsme strukturní a magnetické vlastnosti dielektrik s rozšířenou permeabilitou (EPD) FeCo / Al2O3 - vícevrstvé tenké vrstvy nanesené na destičkách 8 "-Si v průmyslovém magnetronovém naprašovacím systému.

Související projekty

• CEITEC Nano
• CEITEC 2020