Informace o publikaci
Technická dokumentace řešení reaktoru pro redukční plazmovou úpravu materiálů
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2018 |
Druh | Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Popis | Tento dokument slouží jako základní technická dokumentace a manuál k Zařízení pro kontinuální úpravu flexibilních substrátů plazmatem generovaným při atmosférickém tlaku v různých plynných atmosférách. Zařízení bylo konstruováno převážně pro použití v redukčních atmosférách (Ar, H2 a směsi H2 a inertních plynů) s využitím difuzního koplanárního povrchového bariérového výboje jako zdroje plazmatu pro kontinuální úpravu flexibilních materiálů. |
Související projekty: |