![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Diagnostics of reactive magnetron sputtering
Název česky | Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2010 |
Druh | Vyžádané přednášky |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | Sledování reaktivního magnetronového naprošování a depozice/leptání tenkých diamantu podobných vrstev pomocí měření vyšších harmonických frekvencí. |
Související projekty: |