![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Metody měření polovodičových součástek: rtg, optická spektroskopie
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2020 |
Druh | Projekty výzkumu a vývoje |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | Výzkumná zpráva se zabývá metodami analýz polovodičových součástek. Popsány jsou metody rtg difrakce pro detekci elastického napětí, mapování gradientu dopingu v silně legovaném křemíku. Dále pak optickou spektroskopií k určování koncentrací příměsí v silně legovaném polovodiči. |
Související projekty: |