Spektrální elipsometrická charakterizace tenkých epitaxních vrstev Si_(1-x)Ge_x

• Autoři: LÍBEZNÝ Milan; CAYMAX M.; BRABLEC Antonín; KUBĚNA Josef; HOLÝ Václav
• Rok publikování: 1994
• Druh: Kapitola v knize
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek