Kinetika reakcí plynné fáze O_2+TEOS v řízeném rf reaktoru s elektronovou spinovou rezonancí

• Autoři: JANČA Jan; TÁLSKÝ Antonín; ZVONÍČEK Vilém
• Rok publikování: 1996
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma Chemistry and Plasma Processing
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek