Influence of deposition parameters on mechanical properties of plasma deposited silicon oxide films on polycarbonates

• Název česky: Vliv parametrů naprašování na mechanické vlastnosti vrstev SiO nanesených plazmaticky na polykarbonátové podložky
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; ZAJÍČKOVÁ Lenka; JANČA Jan
• Rok publikování: 1997
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: WDS97
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek