Informace o publikaci

Characterisation of DLC Films Prepared by PECVD

Autoři

FRANTA Daniel ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 1999
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of 12th Symposium on Application of Plasma Processes
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SAPP12_158.html
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Popis Multi-sample modification of variable angle of incidence spectroscopic ellipsometry (VASE) was used to characterize diamond like carbon (DLC) films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). These films were prepared on wafers of silicon single crystal in the planar capacitively coupled RF reactor. The gas feed for deposition was a mixture of methane (CH4) and argon (Ar).
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info