Zde se nacházíte:
Informace o publikaci
FV0343AR – optický prvek s AR pokrytím pro λ = 343 nm, R < 0,2 %, AOI = 0° - 5°, LIDT fluence > 0,3 J/cm2 pro pulsy 900 fs
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2023 |
Druh | Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Popis | Laserově odolná antireflexní vrstva na svědečném skle Corning HPFS 7980 (v ArF grade kvalitě) s?nanesenou vrstvou kombinující HfO2/SiO2 technologií napařování pomocí elektronového děla za asistenceplasmatu. Hranice laserové odolnosti LIDT byla stanovena na hodnotu > 0,65 J/cm2 pro pulsní laser ? = 343 nm, šířka pulsu 900?fs a opakovací frekvence 1 000 Hz, certifikováno ISO 21254-2. |
Související projekty: |