Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD

• Autoři: BRZOBOHATÝ Oto; ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2001
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: JUNIORMAT 01
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Diamond-like carbon; PECVD; Ellipsometry
• Popis: Silicon incorporated diamond-like films were deposited by 13.56 MHz rf PECVD and the optical properties of the films were examined by the ellipsometric method. Various mixtures of methane and hexamethyldisiloxane (HMDSO) were used as reaction gases for deposition. The dependencies of the refraction and absorption indices on deposition conditions were studied.

Související projekty

• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek