Informace o projektu
Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
- Kód projektu
- GA202/00/P037
- Období řešení
- 1/2000 - 1/2002
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
Bude studována plazmochemická depozice ochranných vrstev v různých typech výbojů (vysokofrekvenční kapacitně nebo induktivně vázaný doutnavý výboj za sníženého tlaku, mikrovlnný výboj, bariérový výboj, atmosférický doutnavý výboj APG, plazmová tužka). Půjde především o dva typy aplikací. První z nich je připravení vrstevnatého systému chránícího polykarbonát před mechanickým poškozením a degradací ultrafialovým zářením. Za tímto účelem bude pro depozici vrstev použit některý monomer ze skupiny organosilikonů, např. hexametyldisiloxan. Výsledkem by měla být graduovaná vrstva průhledná ve viditelné oblasti, vykazující dobrou adhezi k polykarbonátu a tvrdost srovnatelnou s tvrdostí skla. Druhou významnou částí výzkumu je studium depozice velmi tvrdých vrstev jako jsou např. amorfní vrstvy diamantového typu (DLC), DLC vrstvy s příměsí křemíku, nanokompozitní vrstvy na bázi CNx a mikrokrystalické diamantové vrstvy.
Publikace
Počet publikací: 21
2003
-
Dependence of the Normalized Absorbance of the DLC:SiOx Thin Films on the Flow Rate of HMDSO
JUNIORMAT 03, rok: 2003
-
Study of Plasma Polymerization from Acetylene in Pulsed RF Discharges
Thin Solid Films, rok: 2003, ročník: 2003, vydání: 425
2002
-
Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings
Journal of Non-Crystalline Solids, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 299-302
-
Mode Transition in Low-pressure RF Capacitive Discharge in Nitrogen
Europhysics Conference Abstracts 26B, rok: 2002
-
Optical characterization of diamond like carbon films using multi-sample modification of variable angle spectroscopic ellipsometry
Diamond and Related Materials, rok: 2002, ročník: 11, vydání: 1
-
Rf sputtering of composite SiOx/plasma polymer films and their basic properties
Surface & coatings technology, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 151-152
-
Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD
Materials Science and Engineering A, rok: 2002, ročník: 2002, vydání: 324
2001
-
Deposition of DLC:Si(O) Films in Low Pressure Discharges
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Deposition Process Based on Organosilicon Precursors in Dielectric Barrier Discharges at Atmospheric Pressure - A Comparison
Plasmas and Polymers, rok: 2001, ročník: 6, vydání: 4
-
Diagnostics of Radio Frequency Oxygen Plasma by Optical Emission Spectroscopy
WDS'01 Proceedings of Contributed Papers, rok: 2001