Informace o publikaci
Stanovení povrchové energie tenkých vrstev nanášených v plazmatu vysokofrekvenčního výboje
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2001 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | JUNIORMAT 01 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Contact angle measurement; surface energy; microhardness; PECVD; Diamond-like carbon |
Popis | Plazmochemickou depozicí jsme připravili amorfní diamantu podobné ochranné vrstvy ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu. Na základě měření kontaktního úhlu jsme učili volnou povrchovou energii připravených vrstev. Kontaktní úhel byl stanoven metodou založenou na CCD kamerou nasnímaném profilu kapky a metodou využívající difrakce laserového paprsku v bodě styku kapaliny s pevným povrchem. Ukázali jsme, že přidáním HMDSO do smesi pro plazmovou depozici lze modifikovat volnou povrchovou energii a mechanické vlastnosti vrstev. |
Související projekty: |
|