Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

• Autoři: KUDRLE Vít; ZAJÍČKOVÁ Lenka; BRABLEC Antonín
• Rok publikování: 2001
• Druh: Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)
• Fakulta / Pracoviště MU: Fakulta informatiky
• Popis: Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek