Temperature dependence of mechanical properties of DLC/Si protective coatings prepared by PECVD

• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; NAVRÁTIL Vladislav; ZAJÍČKOVÁ Lenka; JANČA Jan
• Rok publikování: 2002
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Materials Science and Engineering A
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Temperature dependence; mechanical properties; DLC; PECVD
• Popis: The mechanical properties of hard protective DLC/Si films deposited by PECVD from Ar-CH4-HMDSO mixture have been analyzed using microindentation techniques as the main characterisation tool. The formation and development of crack lines and patterns have been studied to determine fracture toughness of the film and of the interface as a function of temperature.

Související projekty

• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek