Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application

• Autoři: BRABLEC Antonín; BUCHTA Jiří; BURŠÍKOVÁ Vilma; JAŠEK Ondřej; KUDRLE Vít; SLAVÍČEK Pavel; TRUNEC David; ZAJÍČKOVÁ Lenka
• Rok publikování: 2002
• Druh: Odborná kniha
• Fakulta / Pracoviště MU: Fakulta informatiky
• Popis: Advanced methods for deposition of thin films: monitoring, properties, application

Související projekty

• Spektrální a optická diagnostika vf-výbojů hořících za atmosferického tlaku
• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek