Informace o publikaci
Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2002 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Conference Proceedings of Inter-Academia 2002 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma deposition;surface energy; atmospheric discharge |
Popis | Structural changes and defects in amorphous hydrogenated SiGe films due to the hydrogen effusion |
Související projekty: |