Mode Transition in Low-pressure RF Capacitive Discharge in Nitrogen

• Autoři: DVOŘÁK Pavel; ZAJÍČKOVÁ Lenka
• Rok publikování: 2002
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Europhysics Conference Abstracts 26B
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: discharge modes plasma nitrogen
• Popis: Two different plasma modes of capacitive coupled rf discharge in pure nitrogen were studied. the modes differed significantly in a visual appearance, plasma potential and in the shape of the electron energy distribution function. For the plasma diagnostics we used Langmuir probe, Plasma Process Monitor, optical emission spectroscopy and we carried out electrical measurements on reactor with the discharge.

Související projekty

• Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek