Reduction of tungsten precursors in inductive rf discharge plasma reactors

• Autoři: JANČA Jan; ELIÁŠ Marek; BROŽEK Vlastimil
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: High Temperature Material Processes
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: tungsten; tungsten carbide; plasma reduction; plasma carbidization;inductive coupled .h.f. plasma reactor
• Popis: Ammonium paratungstate (APT) was reduced in inductively coupled h.f. plasma reactor(4 MHz,2 kW). As working gas was used hydrogen. If the mixture of hydrogen with hydrocarbon is used (methane, propan butane)it is possible to prepare also tungsten carbide in the ratio up to WC/W=80/20.

Související projekty

• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek