![Jak na přijímačky](https://cdn.muni.cz/media/3633702/image_1.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Preionised pulsed magnetron discharge for ionised physical vapour deposition
Název česky | Preionizovaný pulzní magnetron pro fyzikální depozici z iontů |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2004 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceeding of Seventeenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Klíčová slova | pulsed magnetron discharge preionization deposition |
Popis | K zlepšení kvality deponovaných vrstev magnetronovým výbojem, zejména zvýšením ionizačního stupně rozprášených částic, byla vyvinuta nová metoda založená na preionizaci magnetronového výboje. Této preionizace bylo dosáhnuto superpozicí MW, RF a DC výboje a rychlým anomálním pulzním výbojem. Proudová hustota dosáhla vysokých hodnot v průběhu velmi krátkých pulzů. |