Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech

• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; SOBOTA Jan; BURŠÍK Jiří; NAVRÁTIL Vladislav
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 1. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti"
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Thin solid films; microhardness; low temperature plasma
• Popis: Mechanické vlastnosti plazmově deponovaných tenkých vrstev na různých substrátech byly zkoumány pomocí metody Depth Sensing Indentation a zkoumána závislost mikrotvrdosti a Youngova modulu na složení a teplotě plazmatu.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů