Zde se nacházíte:
Informace o publikaci
Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films
Název česky | Komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H , a-SiC:H |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Book of abstract - ICANS 21 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | amorphous semiconductor; mechanical properties; thin film |
Popis | Cílem práce je komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H a a-SiC:H připravených v plazmatu za různých depozičních podmínek. |
Související projekty: |