Informace o publikaci

Complex study of the mechanical properties of a-Si:H and a-SiC:H thin films

Logo poskytovatele
Název česky Komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H , a-SiC:H
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel BURŠÍK Jiří

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference Book of abstract - ICANS 21
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova amorphous semiconductor; mechanical properties; thin film
Popis Cílem práce je komplexní studium mechanických vlastností tenkých vrstev a-Si:H a a-SiC:H připravených v plazmatu za různých depozičních podmínek.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info