Study of the mechanical properties of thin films using combined nanoindentation and AFM measurements

• Název česky: Studium mechanických vlastností tenkých vrstev kombinací nanotvrdosti a AFM
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; KLAPETEK Petr; BOUSQUET Angelique; ELIÁŠ Marek
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Jemná mechanika a optika
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: nanoindentation; AFM; thin films; mechanical properties
• Popis: Studium mechanických vlastností tenkých vrstev připravených v plazmatu kombinací AFM a nanoindentace.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů