![Jak na přijímačky](https://cdn.muni.cz/media/3633702/image_1.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Preionised pulsed magnetron discharges for ionised physical vapour deposition
Název česky | Preionizovany pulzni magnetronovy vyboj pro IPVD |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Optoelectronics and Advanced Materials |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | pulsed magnetron; preionization; transport processes |
Popis | Diagnostika preionizovaneho pulzniho magnetronoveho vyboje |
Související projekty: |