![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Electrical Properties of Plasma Deposited Thin Films
Název česky | Elektrické vlastnosti tenkých vrstev vytvořených PECVD |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Odborná kniha |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | MIM struktury vykazují různé vodivostní mechanismy,které lze rozdělit do dvou základních skupin "electrode-limited" a "bulk-limited" mechanismy. Tenké vrstvy vytvořené PECVD vykazují Poole-Frenkelovu vodivost při nižších napětích a Fowler-Nordheimovu při vyšších napětích. |
Související projekty: |