![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
REFRACTORY METAL FILM DEPOSITION BY THERMIONIC VACUUM ARC METHOD
Název česky | Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | 17th ISPC |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | REFRACTORY METAL; FILM DEPOSITION; THERMIONIC VACUUM ARC METHOD |
Popis | Depozice kovových vrstev metodou vakuového termoionického oblouku |
Související projekty: |