Ionized physical vapor deposition by high power fast pulsed magnetron discharge

• Název česky: Rychlý pulzní magnetronový výboj velkého výkonu pro IPVD
• Autoři: GANCIU Mihai; VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; IMBERT Jean-Christophe; DE POUCQUES Ludovic; BOISSE-LAPORTE Caroline; BRETAGNE Jean; TOUZEAU Michel; VOLDOIRE Olivier; HUGON Marie-Christine; AGIUS Bernard
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Actes du workshop Nouveaux oxydes a forte permittivite dans l integration des semi-conducteurs
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: pulsed magnetron discharge; IPVD
• Popis: Studium nově vyvinutého pulzního magnetronového výboje s preionizací

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu