Deposition and Characterisation of Nanostructured silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings

• Název česky: Depozice a charakterizace nanostrukturovaných SiO modifikovaných diamantu-podobných uhlíkových vrstev
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; ZAJÍČKOVÁ Lenka; FRANTA Daniel; JANČA Jan; BURŠÍK Jiří; KLAPETEK Petr; BLÁHOVÁ Olga; PEŘINA Vratislav; NAVRÁTIL Vladislav
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 7th International Balkan Workshop on Applied Physics - Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Pedagogická fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: PECVD; Nanostructured silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon; thin films; mechanical properties; tribological properties;RBS; ERDA
• Popis: Depozice a charakterizace nanostrukturovaných SiO modifikovaných diamantu-podobných uhlíkových vrstev byla studována pomocí měření mechanických, elektrických a optických vlastností tenkých vrstev.

Související projekty

• Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů