Zde se nacházíte:
Informace o publikaci
Structural properties of ultra-low-energy ion-implanted silicon studied by combined X-ray scattering methods
Název česky | Strukturní vlastnosti křemíku po nízkoenergetické implantaci |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Applied Crystallography |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | Structural properties of ultra-low-energy ion-implanted silicon studied by combined X-ray scattering methods |
Popis | Strukturní vlastnosti křemíku po nízkoenergetické implantaci |