![Jak na přijímačky](https://cdn.muni.cz/media/3633702/image_1.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Analysis of the Transport of Ionized Titanium Atoms in a Highly Ionized Sputter Deposition Process
Název česky | Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Plasma processes and polymers |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | ambipolar difussion; charged particle transport; high power pulsed; magnetron sputtering |
Popis | Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu, článek |
Související projekty: |