Zde se nacházíte:
Informace o publikaci
Multiplate misalignment artifacts in rotating-complensator ellipsometry: Analysis and data treatment
Název česky | Artefakty v elipsometrii s rotačním kompenzátorem: analýza a zacházení s daty |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2008 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | physica status solidi (c) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | ellipsometry; rotating compensator |
Popis | Elipsometrie s rotujícím kompenzátorem, používající vícedeskové retardéry, může trpět různými artefakty. Naše měření v oboru 1.4 až 6.2 eV odhalila rušivé oscilace elipsometrických parametrů Tyto oscilace přiřazujeme nesouladu úhlových poloh jednotlivých desek retardéru. |
Související projekty: |