Informace o publikaci

Multiplate misalignment artifacts in rotating-complensator ellipsometry: Analysis and data treatment

Název česky Artefakty v elipsometrii s rotačním kompenzátorem: analýza a zacházení s daty
Autoři

MARŠÍK Přemysl HUMLÍČEK Josef

Rok publikování 2008
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj physica status solidi (c)
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova ellipsometry; rotating compensator
Popis Elipsometrie s rotujícím kompenzátorem, používající vícedeskové retardéry, může trpět různými artefakty. Naše měření v oboru 1.4 až 6.2 eV odhalila rušivé oscilace elipsometrických parametrů Tyto oscilace přiřazujeme nesouladu úhlových poloh jednotlivých desek retardéru.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info