Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

• Autoři: KELAR Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma; BOCHNÍČEK Zdeněk
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: CESPC II - Book of extended abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: carbon films ;PECVD
• Popis: Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích