![Jak na přijímačky](https://cdn.muni.cz/media/3633702/image_1.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2008 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | CESPC II - Book of extended abstracts |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | carbon films ;PECVD |
Popis | Preparation and characterisation of carbon films prepared from HMDSZ/methane/nitrogen or hydrogen mixture using PECVD |
Související projekty: |
|