Wireless temperature measurement in the hot filament CVD reactor for deposition of carbon nanotubes

• Název česky: Bezkontaktní měření teploty při depozici uhlíkových nanotrubek v reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlakna
• Autoři: KOLMAČKA Michal; KADLEČÍKOVÁ Magdaléna; BREZA Juraj; LAZIŠŤAN Filip; ZAJÍČKOVÁ Lenka; ELIÁŠ Marek; JESENÁK Karol; PASTORKOVÁ Katarína
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Electrical Engineering
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: carbon nanotubes; chemical vapour deposition; isolation amplifier
• Popis: Experimentální práce se zabývá měřením teploty reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlákna připraveným elektronickým zařízení. Cílem bylo najít optimální teplotu substrátu, která je jedním z klíčových parametrů při syntéze uhlíkových nanotrubek. Hlavním výsledkem práce je návrh a konstrukce funkčního teploměru, jeho přesná kalibrace a zlepšení přesnosti měření teploty.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Plazmochemická depozice (PECVD) uhlíkových nanotrubek
• Příprava uhlíkových nanostruktur metodami CVD a jejich charakterizace