Informace o publikaci
Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
| Název česky | Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika |
| Klíčová slova | SLEEM; cathode lens; multichannel detector; angular distribution; BSE detection |
| Popis | Byl navržen a odzkoušen nový osmikanálový detektor pro snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů. Detektor je založen na kanálkové destičce, za níž je symetricky vůči optické ose umístěno osm soustředných kruhových detektorů. Vysoká sběrová účinnost a vysoké zesílení detektoru až do 100 eV emisní energie je zajištěno působením katodové čočky. Již v prvních experimentech se detektor osvědčil jako užitečný pro zobrazení polykrystalických struktur. |