Comparative study on hydrogenated and deuterated amorphous carbon films deposited by RF PECVD

• Název česky: Srovnávací studie o hydrogenované a deuterovaný amorfního uhlíku filmy uloženy RF PECVD
• Autoři: STOICA Adrian; MOCANU Valentin; KADLEČÍKOVÁ Magdaléna; PEŘINA Vratislav; KLAPETEK Petr; FRANTA Daniel; NEČAS David; SLAVÍČEK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2010
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Cílem této práce je charakterizovat a porovnat vlastnosti hydrogenovaných uhlíkových filmů tenký (HDLC) a deuterovaný uhlíkových tenkých vrstev (DDLC) uloženy rf zesílené plazmou chemickou depozici (PECVD) ze dvou různých směsí metan předchůdce / vodík (CH4/H2) a metan / deuterium (CH4/D2) na jednom krystalického křemíku, skla a polykarbonátu substrátů. Experimenty byly provedeny na stejné depozičních parametrů, mění se pouze směsi předchůdce plynu. charakterizace tenkých vrstev povrchu bylo provedeno měření kontaktních úhlů a povrchových výpočet energie. mechanické zkoušky byly provedeny převážně za použití hloubková snímací odsazení metody. Jsme zaměřili svoji pozornost na následující vrstva vlastnosti: tvrdost, modul pružnosti, lomová houževnatost, film-substrát přilnavost a vnitřní pnutí. Navíc jsme studovali vliv vnitřního napětí na odsazení reakcí na film-substrát. Výsledky byly dokončeny do moderní diagnostiky plazmatu provádí pomocí optické emisní spektroskopie (OES).