On the effect of carbon content on the mechanical properties of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by balanced magnetron sputtering

• Autoři: SOUČEK Pavel; SCHMIDTOVÁ Tereza; ZÁBRANSKÝ Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr; CAHA Ondřej; BURŠÍK Jiří; PEŘINA Vratislav
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Thick hard adherent nc-TiC/a-C:H coatings were prepared by a hybrid PVD-PECVD process of Ti target sputtering in Ar/C2H2 atmosphere. The effect of carbon content on mechanical properties such as hardness, Young’s modulus and internal stress is studied in this contribution.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy