Reaction of higher harmonic frequencies on thin films

• Název česky: Reakce vyšších harmonických frekvencí na přítomnost tenkých vrstev
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; ŽEMLIČKA Radek; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr; ŠPERKA Jiří
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Reakce vyšších harmonických frekvencí na vytvoření nebo odleptání tenké vrstvy.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích