Project information
Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
- Project Identification
- GA19-00579S
- Project Period
- 1/2019 - 12/2021
- Investor / Pogramme / Project type
-
Czech Science Foundation
- Standard Projects
- MU Faculty or unit
-
Faculty of Science
- prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
- doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
- Mgr. Peter Klein, Ph.D.
- Mgr. Tomáš Rada
- Mgr. Marta Šlapanská, Ph.D.
- Cooperating Organization
-
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
- Responsible person Martin Čada
- Responsible person Milan Tichý
Výzkum reaktivního impulsního naprašování (R-HiPIMS) je stále v začátcích. Pozornost je spíše soustředěna na charakterizaci deponovaných vrstev než na charakterizaci procesu depozice. Cílem projektu je proto přispět k porozumění vzájemného vztahu mezi módy depozičního procesu HiPIMS (metalický, přechodový, otrávený) a lokálními parametry plazmatu, jako energie a toky neutrálních a nabitých částic na substrát, hustotu, teplotu a rozdělovací funkci elektronů, a hustoty rozprašovaných částic. Projekt je zaměřen na charakterizaci depozičního procesu HiPIMS při depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev pomocí pokročilých a nových diagnostických metod s cílem zjistit vliv parametrů procesu na vlastnosti deponovaných vrstev. Významná pozornost bude věnována nestabilitám plazmatu, tzv. spoke-ům, které provázejí HiPIMS proces, a jejich vlivu na depoziční proces. Experimentální výsledky budou srovnány s teoretickými modely.
Publications
Total number of publications: 28
2020
-
Sputtered titanium species dynamics in HiPIMS
Year: 2020, type: Conference abstract
-
Study of the transition from self-organised to homogeneous plasma distribution in chromium HiPIMS discharge
Journal of physics D: Applied physics, year: 2020, volume: 53, edition: 15, DOI
2019
-
Fast camera imaging and strip probe measurements of spokes in HiPIMS plasma
Year: 2019, type: Conference abstract
-
Spoke behaviour in reactive HiPIMS
Year: 2019, type: Appeared in Conference without Proceedings
-
Sputtered Species Ionisation and Hysteresis Behaviour of Reactive High Power Impulse Magnetron Sputtering
Year: 2019, type: Conference abstract
-
Study of self-organization in HiPIMS plasma, spoke merging and splitting
Year: 2019, type: Conference abstract
-
Temporal evolution of sputtered species number densities in reactive HiPIMS with nitrogen admixture
Year: 2019, type: Appeared in Conference without Proceedings
-
Titanium Atom and Ion Number Density Evolution in Reactive HiPIMS with Oxygen‚ Nitrogen and Acetylene Gas
Year: 2019, type: Conference abstract