doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

2010

• Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages

  DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr

  Článek v odborném periodiku

  Plasma Sources Sci. Technol., rok: 2010, ročník: 19, vydání: 5

• Monitoring of PVD, PECVD and etching plasmas using Fourier components of RF voltage

  DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek

  Článek v odborném periodiku

  Plasma Physics and Controlled Fusion, rok: 2010, ročník: 52, vydání: 12, DOI

2009

• Harmonic analysis of discharge voltages as a tool to control the RF sputtering deposition process

  VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel

  Článek v odborném periodiku

  Europhysics Letters, rok: 2009, ročník: 85, vydání: 1

• Higher harmonic frequencies of discharge voltages as extremely sensitive marker of state of RF reactive sputtering deposition process

  VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel

  Článek ve sborníku

  Book of Contributed Papers of 17th Symposium on Applications of Plasma Processes, rok: 2009

• Higher harmonics of discharge voltage as tool to control accurately state of RF sputtering deposition process

  DVOŘÁK Pavel VAŠINA Petr

  Konferenční abstrakty

  Rok: 2009, druh: Konferenční abstrakty

• Higher harmonics of plasma potential in capacitively coupled discharges

  DVOŘÁK Pavel MORAVEC Zdeněk

  Článek ve sborníku

  Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8 - Book of abstracts, rok: 2009

• Is it possible to control degree of target poisoning during RF reactive magnetron sputtering by higher harmonic frequencies of discharge voltage?

  VAŠINA Petr DVOŘÁK Pavel

  Článek ve sborníku

  Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8 - Book of abstracts, rok: 2009

• Jeskyně Kozí díra

  SUCHOMEL Martin DVOŘÁK Zdeněk DVOŘÁK Pavel MAREČKOVÁ Jana OLBRECHT Martin KAHLE Vladislav ČÁSLAVSKÝ Petr

  Certifikované metodiky

  Rok: 2009

• Measurement of plasma potential waveform in capacitive discharge

  DVOŘÁK Pavel

  Konferenční abstrakty

  Rok: 2009, druh: Konferenční abstrakty

• Plasma diagnostics using electron paramagnetic resonance

  KUDRLE Vít TÁLSKÝ Antonín JANČA Jan ZVONÍČEK Vilém KUDLÁČ Aleš KŘÁPEK Vlastimil VAŠINA Petr DOLEŽAL Vojtěch URBÁNEK Michal BOTOŠ Pavel MRÁZKOVÁ Martina DVOŘÁK Pavel

  Článek ve sborníku

  Book of Abstracts, Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics, rok: 2009