Informace o projektu
Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
- Kód projektu
- GA202/07/1669
- Období řešení
- 1/2007 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Mgr. Oto Brzobohatý, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- prof. RNDr. Josef Havel, DrSc.
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
- doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- prof. RNDr. David Trunec, CSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- PECVD, dvojfrekvenční kapacitní výboj DF CCP, nanostrukturovaný DLC, thermomechanická stabilita
- Spolupracující organizace
-
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Vratislav Peřina, CSc.
- Odpovědná osoba Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvojfrekvenčního kapacitního plazmatu (DFCCP). Kombinací vysokofrekvenčního buzení, které zajišťuje stabilitu a vysokou hustotu plazmatu, a nízkofrekvenčního buzení, kterým lze nezávisle kontrolovat energii iontů, chceme dosáhnout kontrolovaného růstu vrstev. Předmětem studia bude nalezení optimální kombinace vysokofrekvenčního a nízkofrekvenčního (kontinuálního nebo pulzního) buzení umožňujíci rovnoměrně pokrýt nerovné, stupňovité povrchy substrátů i podstatné snížení vnitřního pnutí ve vrstvách. Je plánovaná komplexní diagnostika DFCCP i počítačová simulace pro popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro- a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie.
Publikace
Počet publikací: 70
2008
-
Study of mechanical properties of graded amorphous carbon coatings prepared using PECVD
2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry - Book of Extended Abstracts, rok: 2008
-
Study of the Mechanical Properties of Diamond-like Carbon Thin Films Deposited in Single and Dual Frequency Capacitive Discharges
2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry - Book of Extended Abstracts, rok: 2008
-
Study of thermal stability of Silicon, Oxygen and/or Nitrogen containing Diamon-like Carbon coatings
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
Surface morphology of amorphous hydrocarbon thin films deposited in pulsed radiofrequency discharge
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
2007
-
Deposition of Diamond-Like Carbon by Gaseous Thermionic Vacuum Arc Method
Rok: 2007, druh: Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)
-
Lokální mechanické vlastnosti 2007
Rok: 2007, druh: Uspořádání konference
-
Plasma deposition of doped Diamond-like carbon nano layers. Process modeling and prediction using Artificial Neural Networks
Nanotechnologia analitica, rok: 2007
-
Preparation and characterisation of nanostructured diamond-like carbon films
Rok: 2007, druh: Další prezentace na konferencích
-
Preparation of protective coatings on polycarbonate from CH4/HMDSZ mixture using PECVD
Juniormat 07, rok: 2007
-
Studium DLC vrstev na plastových substrátech
VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007, rok: 2007