Informace o projektu
Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
- Kód projektu
- GA202/07/1669
- Období řešení
- 1/2007 - 12/2011
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.
- Mgr. Oto Brzobohatý, Ph.D.
- doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
- prof. RNDr. Josef Havel, DrSc.
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- prof. RNDr. Vladislav Navrátil, CSc.
- doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.
- prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
- prof. RNDr. David Trunec, CSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- PECVD, dvojfrekvenční kapacitní výboj DF CCP, nanostrukturovaný DLC, thermomechanická stabilita
- Spolupracující organizace
-
Ústav jaderné fyziky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Vratislav Peřina, CSc.
- Odpovědná osoba Ing. Jaroslav Sobota, CSc.
- Odpovědná osoba Mgr. Petr Klapetek, Ph.D.
Podstatou navrhovaného projektu je vyvinout depoziční systém pro přípravu termálně stabilních nanostrukturovaných diamantu podobných uhlíkových vrstev s využitím dvojfrekvenčního kapacitního plazmatu (DFCCP). Kombinací vysokofrekvenčního buzení, které zajišťuje stabilitu a vysokou hustotu plazmatu, a nízkofrekvenčního buzení, kterým lze nezávisle kontrolovat energii iontů, chceme dosáhnout kontrolovaného růstu vrstev. Předmětem studia bude nalezení optimální kombinace vysokofrekvenčního a nízkofrekvenčního (kontinuálního nebo pulzního) buzení umožňujíci rovnoměrně pokrýt nerovné, stupňovité povrchy substrátů i podstatné snížení vnitřního pnutí ve vrstvách. Je plánovaná komplexní diagnostika DFCCP i počítačová simulace pro popis a pochopení procesů probíhajících se během depozice. Připravené vrstvy budou rozsáhle charakterizovány jak z hlediska jejich struktury (RBS, ERDA, TOF ERDA, HRTEM, SEM atd.) tak i z hlediska jejich vlastností (např. ellipsometrie, spektrofotometrie, mikro- a nanovtiskové testy). Termální stabilita vrstev bude studována metodou termální desorpční spektroskopie.
Publikace
Počet publikací: 70
2009
-
Measurement of plasma potential waveform in capacitive discharge
Rok: 2009, druh: Konferenční abstrakty
-
Optimization of Discharge Conditions for Deposition of Protective Coatings on Polymer Substrates
Rok: 2009, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of the Mechanical Properties of Diamond-like Carbon Coatings on Polymer Substrates
Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostic 8, rok: 2009
-
Thermal Desorption Spectroscopy Study on Diamond-like Carbon Coatings
Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostic 8, rok: 2009
2008
-
Applications of Capillary Electrophoresis using gold nanoparticles
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
Comparative Study on Mechanical Properties of DLC Coatings Prepared by Several Different Deposition Techniques
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
Deposition of Nanostructured Diamond-Like Carbon Films in Dual Frequency Capacitive Discharge
19th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, rok: 2008
-
Characterization of nanostructured diamond-like carbon coatings deposited in single and dual frequency capacitive discharges
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
CHEMISTRY OF GOLD CLUSTERS IN PLASMA GENERATED WITH MALDI, LASER DESORPTION IONISATION AND LASER ABLATION FROM VARIOUS PRECURSORS
Rok: 2008, druh: Konferenční abstrakty
-
Influence of substrate material on plasma in deposition/sputtering reactor: experiment and computer simulation
Journal of physics D: Applied physics, rok: 2008, ročník: 41, vydání: 3, DOI