![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2000 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of 20th Summer School and International Symposium on the Physics of Ionized Gases |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Popis | Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge during deposition of nanocomposite CNx/SiOy films |
Související projekty: |
|