Improvement of the efficiency of the silicon solar cells by silicon incorporated diamond-like carbon antireflective coatings

• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; SLÁDEK Petr; SŤAHEL Pavel; ZAJÍČKOVÁ Lenka
• Rok publikování: 2002
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Non-Crystalline Solids
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: silicon solar cells; antireflective coatings; diamond-like films; PECVD
• Popis: Silicon incorporated diamond-like antireflective coatings were deposited upon the silicon solar cells in order to improve their efficiency. The films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique from the mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and methane. The optical and tribological properties of the coatings could be easily changed by the percentage of the HMDSO in the deposition feed.

Související projekty

• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
• Optické a mechanické vlastnosti tenkých vrstev DLC:Si připravených PECVD metodou
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek